K-LAM

제조 자동화

높은 정밀성이 요구되는 반도체/디스플레이 FMM 제조용 정밀 스테이지 설비로 고정밀 시스템(nm급)
설계 기술 보유하고 있으며 Femto Laser를 이용하여 OLED에 적용되는 증착용 마스크를 가공하는
장비로 고정밀 Air Slide Bearing Stage와 최적의 가공 환경을 유지하기 위한 환경 챔버 및 이를 운영할
수 있는 SW로 구성되어 있습니다.

제품 특징

1 AR, VR 등의 초미세 Pixel용 Laser Mask 제조
2 시뮬레이션을 통한 구조 및 시스템 설계
Simulation
Robot 거동 해석
구조·열·유동 해석
진동 해석
3 정밀도 유지를 위한 환경 제어 기술

온도 제어 정밀 환경 챔버

장시간 레이저 미세 가공
Stage 0.1도 내에서 온도 유지
0.03도 온도 제어 기술 적용
4 정밀 구동을 위한 제어 기술
정밀 Stage 제어 GUI
EasyCluster 플랫폼을 활용한 nm정밀도를 가지는
Stage의 구조적 안정성 및 각각의 요소들의 정밀 제어
5 광학 기술을 이용한 레이저 가공 기술
레이저 가공 렌즈 설계 계략도
최적의 레이저 경로와 레이저 빔 구현