제품 특징
Main Exe와 연결된
Flow DLL
Main Exe에서 제공하는 기능 활용 가능
Event Message, Recipe, Animation, IO, Process
Recipe Data, Logging
설비에 맞는 Flow를 User가 개발 및 수정 가능
Main Exe 와 연결되는
Interface 제공
flow 개발을 위한 Application Programming
Interface 제공
제품 기능
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Robot Multi slot 동작 개발을 위한 API 제공
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유연한 Loadlock 시나리오 개발 가능
-
병렬 Chamber 개발 가능
EasyCluster MFI
Product 개발 설비
Type
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Basic(200mm)
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Basic(300mm)
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Double
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LL & TT
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Pentagon
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In-Line
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Multi Double
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Multi Core Ⅱ
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Furnace
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Batch
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Track
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Cluster-Batch
기능 Block
Diagram
개발 지원 Tool 및
제공 Manual
제공 Manual
Macro Flow Interface Guide
Sch_INF_API( Scheduler Interface API ) Manual