제품 특징
SEMI Standard 대응
SECS, HSMS, GEM Compliance Online Interface 대응
SEMI Standard의 학습 기간, 통신사양서 작성 기간을 단축하여 공수를 삭감
쉽고 간단한 Coding
Fixed/Internal Buffer, Single/Multi Chamber 등
모든 기종에 대응 가능
간단한 Programming Interface로 Application
Programming이 가능
제품 기능
-
SECS-I / HSMS 통신
-
GEM 기능
-
Host에서 Process Job, Control Job 작성
-
Process Job, Control Job의 제어 및 상태 관리
-
Carrier, Substrate(Wafer)의 상태, 위치 관리
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Carrier, Slotmap의 조회 관리
-
Loadport의 상태 관리
-
각종 장비 Interface
제품별 지원 표준
SEMI
Standard 대응
| Standard | 설명 | EasyFAS | EasyFASGEM | EasyFASGEM300 |
|---|---|---|---|---|
| E4 | SECS-I (Serial protocol) | O | O | O |
| E5 | SECS-ll | O | O | O |
| E30 | GEM | O | O | |
| E37 | HSMS-SS (Ethernet protocol) | O | O | O |
| E40 | PROCESSING MANAGEMENT (PJM) | O | ||
| E87 | CARRIER MANAGEMENT (CMS) | O | ||
| E90 | SUBSTRATE TRACKING (STS) | O | ||
| E94 | CONTROL JOB MANAGENENT (CJM) | O |
기능 Block Diagram
개발 지원 Tool 및
제공 Manual
-
- - Configuration Tool
- - Monitoring Tool
- - Host Simulator(EasySim)
- - 제공 Manual
- - Sample Program
1 Configuration Tool
SECS-I & HSMS 통신 방법 설정
통신 파라미터 설정
다양한 운용 로그 자동 관리
마우스 Drag & Drop 방식을 이용한 간편한 SECS 메시지 작성 기능
2 Monitoring Tool
운용중인 장비의 각종 상태, 데이터의 Monitoring이 가능
3
Host Simulator
(EasySim)
메시지 송수신 기능
응답 메시지 자동 Reply
4 Sample Program
5 제공 Manual
User’s Manual
API Manual
Configuration Tool Operation Manual