제품 특징
쉬운 Interface
쉬운 Interface
간단한 SECS Message작성
제공되는 API로 동적인 Message 구조를 자유롭게
작성 가능
User Interface 제공
Configuration Tool을 이용하여 옵션 등을
간단히 설정, 저장 가능
제품 기능
-
SECS-I / HSMS 통신
-
SECS-II Message 분석 및 생성
-
SECS 통신 Log 생성
제품별 지원 표준
SEMI
Standard 대응
| Standard | 설명 | EasyFAS | EasyFASGEM | EasyFASGEM300 |
|---|---|---|---|---|
| E4 | SECS-I (Serial protocol) | O | O | O |
| E5 | SECS-ll | O | O | O |
| E30 | GEM | O | O | |
| E37 | HSMS-SS (Ethernet protocol) | O | O | O |
| E40 | PROCESSING MANAGEMENT (PJM) | O | ||
| E87 | CARRIER MANAGEMENT (CMS) | O | ||
| E90 | SUBSTRATE TRACKING (STS) | O | ||
| E94 | CONTROL JOB MANAGENENT (CJM) | O |
기능 Block Diagram
개발 지원 Tool 및
제공 Manual
-
- - Configuration Tool
- - Host Simulator(EasySim)
- - 제공 Manual
- - Sample Program
1 Configuration Tool
SECS-I & HSMS 통신 방법 설정
통신 파라미터 설정
다양한 운용 로그 자동 관리
마우스 Drag & Drop 방식을 이용한 간편한 SECS 메시지 작성 기능
2 Host Simulator(EasySim)
메시지 송수신 기능
응답 메시지 자동 Reply
3 Sample Program
4 제공 Manual
API Manual
Configuration Tool Operation Manual