K-LAM

制造自动化

作为精密度要求高的半导体/显示器FMM制造精密台设备,拥有高
精度系统(nm级)设计技术,采用Femto Laser加工应用于OLED的
沉积掩模,由环境室组成,维持加工可以操作它的环境和软件。

产品特征

1 用于 AR 和 VR 等超精细像素的 Laser Mask 制造
2 通过仿真进行结构和系统设计
Simulation
Robot 行为分析
结构/热/流动分析
振动分析
3 保持精度的环境控制技术

温控精密环境chamber

长时间激光微加工
温度保持在Stage 0.1度以内
应用0.03度温控技术
4 精密驱动控制技术
精密载物台(Stage)控制 GUI
使用 EasyCluster 平台实现 nm 级精度
的平台结构稳定性和每个元件的精确控制
5 使用光学技术的激光加工技术
激光加工透镜设计示意图
实施最佳激光路径和激光束