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产品特征
与Main Exe连接的
Flow DLL
可以使用Main Exe提供的功能
Event Message, Recipe, Animation, IO, Process
Recipe Data, Logging
用户可以开发和修改适合设备的流程
提供连接到Main Exe
的 Interface
提供flow 开发的
Application Programming Interface
产品功能
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为Robot Multi slot开发提供API
-
可以开发灵活的Loadlock方案
-
可以进行平行Chamber开发
EasyCluster MFI
产品开发设施类型
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Basic(200mm)
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Basic(300mm)
-
Double
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LL & TT
-
Pentagon
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In-Line
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Multi Double
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Multi Core Ⅱ
-
Furnace
-
Batch
-
Track
-
Cluster-Batch
功能
Block
Diagram
开发支持Tool 和
提供 Manual
提供 Manual
Macro Flow Interface Guide
Sch_INF_API( Scheduler Interface API ) Manual