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产品特征
基于EasyFASGEM300
基于EasyFASGEM300
轻松简单的Coding
EasyEDA自动连接和EDA相关信息更新
产品功能
-
E120, E125, E128, E132, E134, E138, E145, E164
-
Freeze2(0710) 支援
各产品
支持标准
符合SEMI
Standard
| Standard | 说明 | EasyFAS | EasyFASGEM | EasyFASGEM300 | EasyFASEDA |
|---|---|---|---|---|---|
| E4 | SECS-I (Serial protocol) | O | O | O | O |
| E5 | SECS-ll | O | O | O | O |
| E30 | GEM | O | O | O | |
| E37 | HSMS-SS (Ethernet protocol) | O | O | O | O |
| E40 | PROCESSING MANAGEMENT (PJM) | O | O | ||
| E87 | CARRIER MANAGEMENT (CMS) | O | O | ||
| E90 | SUBSTRATE TRACKING (STS) | O | O | ||
| E94 | CONTROL JOB MANAGENENT (CJM) | O | O | ||
| E120,E125,E128,E132,E134,E138,E145,E164 | O | ||||
功能
Block Diagram
开发支持Tool 和
提供 Manual
-
- - Configuration Tool
- - Monitoring Tool
- - Host Simulator(EasySim)
- - 제공 Manual
- - Sample Program
1 Configuration Tool
SECS-I & HSMS 通信方式设置
通讯参数设置
自动管理各种操作日志
使用鼠标拖放方法的简单 SECS 消息写入功能
2 Monitoring Tool
可以监控Monitoring运行中设备的各种状态和数据
3
Host Simulator
(EasySim)
发送和接收消息
自动回复消息 Reply
4 Sample Program
5 提供 Manual
User’s Manual
API Manual
Configuration Tool Operation Manual