.jpg)
产品功能
简单的 Interface
简单的 Interface
创建简单的 SECS Message
可以使用提供的 API 自由创建动态消息
(Message)结构
提供User Interface
您可以使用配置工具(Configuration Tool)
简单地设置和保存选项.
产品功能
-
SECS-I / HSMS 通信
-
SECS-II Message 的分析和生成
-
生成SECS 通信 Log
各产品
的支持标准
符合SEMI
Standard
| Standard | 说明 | EasyFAS | EasyFASGEM | EasyFASGEM300 |
|---|---|---|---|---|
| E4 | SECS-I (Serial protocol) | O | O | O |
| E5 | SECS-ll | O | O | O |
| E30 | GEM | O | O | |
| E37 | HSMS-SS (Ethernet protocol) | O | O | O |
| E40 | PROCESSING MANAGEMENT (PJM) | O | ||
| E87 | CARRIER MANAGEMENT (CMS) | O | ||
| E90 | SUBSTRATE TRACKING (STS) | O | ||
| E94 | CONTROL JOB MANAGENENT (CJM) | O |
功能 Block Diagram
开发支持Tool 和
提供 Manual
-
- - Configuration Tool
- - Host Simulator(EasySim)
- - 제공 Manual
- - Sample Program
1 Configuration Tool
SECS-I & HSMS 通信方式设置
通讯参数设置
自动管理各种操作日志
使用鼠标拖放(Drag & Drop )方式，简单的创建 SECS 消息的功能
2 Host Simulator(EasySim)
发送和接收消息
自动回复消息 Reply
3 Sample Program
4 提供 Manual
API Manual
Configuration Tool Operation Manual