.jpg)
产品特征
符合SEMI Standard
SECS, HSMS, GEM Compliance Online Interface 响应
通过缩短 SEMI Standard学习时间和通信规范编写时间来减少工时
轻松简单的 Coding
适用于所有类型的Fixed/Internal Buffer,
Single/Multi Chamber 等
可通过简单的 Programming Interface进行
Application Programming
产品功能
-
SECS-I / HSMS 通信
-
GEM 功能
-
在Host中创建 Process Job, Control Job
-
Process Job, Control Job的控制和状态管理
-
Carrier, Substrate(Wafer)的状态, 位置管理
-
Carrier, Slotmap的查询管理
-
Loadport的状态管理
-
各种设备Interface
各产品
的支持标准
符合SEMI
Standard
| Standard | 说明 | EasyFAS | EasyFASGEM | EasyFASGEM300 |
|---|---|---|---|---|
| E4 | SECS-I (Serial protocol) | O | O | O |
| E5 | SECS-ll | O | O | O |
| E30 | GEM | O | O | |
| E37 | HSMS-SS (Ethernet protocol) | O | O | O |
| E40 | PROCESSING MANAGEMENT (PJM) | O | ||
| E87 | CARRIER MANAGEMENT (CMS) | O | ||
| E90 | SUBSTRATE TRACKING (STS) | O | ||
| E94 | CONTROL JOB MANAGENENT (CJM) | O |
功能 Block Diagram
开发支持Tool 和
提供 Manual
-
- - Configuration Tool
- - Monitoring Tool
- - Host Simulator(EasySim)
- - 제공 Manual
- - Sample Program
1 Configuration Tool
SECS-I & HSMS 通信方式设置
通讯参数设置
自动管理各种操作日志
使用鼠标拖放方法的简单 SECS 消息写入功能
2 Monitoring Tool
可以监控Monitoring运行中设备的各种状态和数据
3
Host Simulator
(EasySim)
发送和接收消息
自动回复消息 Reply
4 Sample Program
5 提供 Manual
User’s Manual
API Manual
Configuration Tool Operation Manual