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EasyCluster

EasyRCS, EasyGEM, EasyCTC, EasyTMC, EasyPMCProcess装置をコントロールするためのControl Solutionを提供

POINT
EasyClusterとは、半導体/FPD/LED/MEMS/Stand-AloneなどのProcess装置をコントロールするためのControl Solutionを提供します。
EasyClusterは、EasyEES, EasyRCS, EasyGEM, EasyCTC, EasyTMC, EasyPMCで構成されています。
EasyGEMとEasyEESは、Fab.自動化を担当しており、SECS-ⅡとHSMSに基づいたSolutionを提供します。装置運営を担当するEasyCTCは、全体の装置を統合制御し、EasyTMCと EasyPMCは、それぞれTransfer ModuleとProcess Moduleを制御します。

What is the EasyCluster™?

Applications

半導体/FPD(LCD, OLED •••)/LED/Solar/電気電子(PCB, MLCC…)/Inspection/Stand-Alone/Etc

Process

CVD, PVD, Etcher, Asher, RTP, Laser, Track, AOI…

CVD, PVD, Etcher, Asher, RTP, Laser, Track, AOI, Inline…

  • 128Process Moduleを提供
  • Vacuum/ATM Transport Moduleを提供
  • Single/Dual/Triple arm Robotを提供
  • 4 Carrier Moduleを提供 - 最大 12 Moduleまで拡張可能
  • Single/Dual Aligner
  • Multi Slot Cooler提供
  • オプションで装置のLayout変更
  • 多様な制御方法

特徴

  • CTC, TMC, PMCのコントローラはEthernetを使用
  • NT基盤(~Windows7) のオペレーティングシステムを提供する I/O Module の使用が可能
  • Analog I/O, Digital I/O, Serial I/O, DeviceNet, VME, PLC, etc
  • NT基盤(2000,XP)のオペレーティングシステムと Visual C/C++ 6.0バージョンが必要
  • Server/Clientの関係は、 TCP/IPで通信したり、内部的な通信がある。
  • 装置の複雑度により、Software/Hardwareが柔軟に構成される。
  • GUI(Graphic User Interface)は、SEMATECHの規定に従う。
  • SECS-Ⅱ/GEM通信関係: HSMSの提供 300mm Specを完璧提供
  • 以下のように多様な装置管理方法がある。

    I/O Management: Remote & Direct I/O control, Interlock service

    Alarm Management: Alarm recovery, Alarm history

    Function Management: Control Equipment, User’s written code, etc

    Recipe Management: Lot, Cluster, Process recipe

    Data logging system: Lot, History, Operate, Online, Error, System, Plotting

    GUI Management: Various Navigations, Configurable Data Define

    User Management: Level, Priority, Access Control

    System Parameter: Configuration, Sub-system, etc

    Scheduling System: Flow Engine, Dynamic Scheduling

    Maintenance: Vacuum, Gas Delivery, Transfer, etc (User’s Part)

EasyCluster™

EasyCluster™は、EauipmentでModule Controller Part及び、Cluster Tool Controller PartのControl専用に製作されたSoftwareで、Eauipment Controlから要求される多様なFeatureなどを提供する。各PartについてのOpen-System Architectureを提供し、Soft Real-Time Applicationのため、Windows™(NT™、2000、XP、7)上でCodingされ、Equipment側から、より安定的なOperationとMulti-Traking/Multi-Treading/Multi-Programmingなどの提供及び適用し、Equipmentについての多様なManagementが可能で、開発及び適用時間を短縮できるように設計。

End UserによるIO Define又はApplicationが容易であり、ConfigurationによるSetupで今後、類似したSystemの製作、修正が容易にできるようにしており、Cluster Tool Controllerにも適用可能に設計されている。又、Module Controllerと繋げるCluster Tool Controllerの位置でcluster Toolの役割を果たす EasyCluster™ Client/ServerとしてのPlatformを提供する。

No Contents(maxiumum Usable Count) Compact Normal Wide Huge Huge2 Huge3
file Execution File Name Cims97_s Cims97 Cims97_2 Cims97_h Cims97_h2 Cims97_h3
1 IO Driver 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 100 500 1000 2500 2500 2500
3 Enumeration Table 500 2500 5000 9999 9999 9999
4 Digital IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
5 Analog IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
6 String IO 250 1500 3000 5000 10000 10000
7 Function Table 250 500 1000 2000 2500 2500
8 Setpoint Interlock for Digital IO 32 64 128 256 256 256
9 Setpoint Interlock for Analog IO 16 32 64 128 128 128
10 Value Interlock 250 500 1000 2000 2000 2000
11 Alarm Object 750 1500 3000 5000 9999 9999
12 Navigation Screen Count 256 1024 2048 2048 4096 4096
13 Navigation History Buffer 64 128 512 1024 2048 2048
14 Argument String Size 128 128 256 256 256 256
15 Parameter String Size 256 256 256 512 512 512
16 Unique Monitor size Per Driver 100 256 300 512 512 512
17 Single Monitor size Per Driver 100 512 600 1024 1024 1024
108 Number of Monitoring IO for one Function 2560 5120 20480 20480 20480 20480

[Engine Restriction]

Advantages/Requirement

長所 詳細説明
開発が容易 汎用的なH/WとS/Wを使うため、装置についての理解度が高ければ容易に実装できる。
メンテナンスが容易 システムの稼動中に再起動のないApplicationが可能
構成が容易 EasyClusterはPC基盤の制御デバイスと完璧な互換で装置の構成が容易
リサイクルが容易 ほとんどのコードを再作用するため、一度開発が完了した後、次のApplicationの開発の時間の短縮が可能
運用が容易 GUIとキーボードシミュレーションを使用するため、現場Operateが容易
所有が容易 Control SolutionであるEasyClusterは、Turnkey開発や、License等、多様な形で提供
保持が容易 FrameworkであるEasyClusterは、複雑で専門的な訓練なしで、簡単な教育をすることで、御社のエンジニア が開発及び実装ができるので最短時間で自体Softwareを所有することが可能。
分配/結合が容易 PowerfulなIMC機能は、ネットワークでSingle applicationとMulti application間、容易に組合と分配が可能。

システム要件

- Software
オペレーティングシステム:Windows NT 4.0, Windows 2000, Windows XP, Windows 7(included 64 bits)
支援言語:ハングル、英語、日本語、中国語・・・(オペレーティングシステムによるその他の言語)
開発ツール:MS Visual Studio Series(~ 2010)
I/O Module: DeviceNet, Serial, PLC, DirectI/O

- Hardware

Minimum Requirement Recommend Requirement
CPU 5500MHz以上 1GHz以上
Memory 64MB以上 1GB以上
HDD 1GB以上 100GB以上