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MFI

현재의 반도체 생산 라인에서 장비는고 효율성과 다양한 기능을 지원을 요구

POINT
현재의 반도체 생산 라인에서 장비는 고 효율성과 다양한 기능을 지원을 요구합니다.
반도체 장비 생산 업체는 기존과 같이 몇 개의 고정된 Pattern형태의 Scheduling을 요구하는 것이 아니라 다양한 Scheduling 형태를 요구하게 되었습니다. 이에 사용자가 Scheduler를 수정하여 사용 가능한 Scheduler Macro Function Interface(이하 MFI)를 개발하게 되었습니다. MFI는 기존의 Scheduler에서 사용되었으나 장비에 따라 크게 변경이 필요 없는 Job Management, Control Program Interface, FA Interface, Logging등의 기능은 System Scheduler에서 진행하고, 장비에 따라서 변경의 요소가 많은 Flow Routine에 대해서는 User가 직접 작성하여 사용할 수 있도록 설계되었습니다.

Scheduler Flow Part는 Windows DLL(Dynamic Link Library) 형태로 작성 할 수 있도록 설계 되었으며, 이에 대한 개발 도구를 지원한다. 사용자는 Flow Part만 작성하여 쉽게 Scheduler 개발을 마칠 수 있다.