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EasyCluster

EasyRCS, EasyGEM, EasyCTC, EasyTMC, EasyPMC로 구성Process 장치를 제어, Control Solution 제공

POINT
EasyGEM과 EasyEES는 Fab. 자동화를 담당하며 자동화의 기준인 SECS-Ⅱ와
HSMS를 따른 Solution을 제공합니다.
장비 운영을 담당하는 EasyCTC는 전체 장비를 통합 제어하며,
EasyTMC는 Transfer Module을 제어하고, EasyPMC는
Process Module을 제어합니다.

What is the EasyCluster™?

적용분야

반도체/FPD(LCD, OLED….)/LED/Solar/전기전자(PCB, MLCC…)/Inspection/Stand-Alone/Etc…

프로세스

CVD, PVD, Etcher, Asher, RTP, Laser, Track, AOI…

반송장치(Cluster/Inline/Stand-Alone/Multi-Cluster...)

  • 기본 4 Carrier Module – 최대 12 Module까지 확장가능
  • Single/Dual Aligner
  • Multi Slot Cooler 지원
  • 옵션으로 장비의 Layout 변경
  • 다양한 제어방식
  • 최적의 로봇 전송 처리
  • 직렬 및 병렬 Chamber 처리지원
  • 능동 및 수동 로봇 전송 시나리오 지원

특징

  • CTC, TMC, PMC의 컨트롤러는 이더넷 통신으로 연결된다.
  • NT기반(2000, XP) 운영체제를 지원하는 I/O 모듈의 사용이 가능하다
  • Analog I/O, Digital I/O, Serial I/O, DeviceNet, VME, PLC, etc
  • NT기반(2000, XP)운영체제와 Visual C/C++ 6.0 버전이 필요하다.
  • Server/Client 관계는 TCP/IP로 연결되거나 내부적인 연결이 있다.
  • 장비의 복잡도에 따라 Software/Hardware가 유연적으로 구성된다.
  • GUI(Graphic User Interface)가 SEMATECH 규정에 따른다.
  • SECS-Ⅱ/GEM 통신관련: HSMS지원, 300mm Spec 완벽 지원
  • 다음과 같이 여러가지 장비 관리 방법이 있다.

    I/O Management: Remote & Direct I/O control, Interlock service

    Alarm Management: Alarm recovery, Alarm history

    Function Management: Control Equipment, User’s written code, etc

    Recipe Management: Lot, Cluster, Process recipe

    Data logging system: Lot, History, Operate, Online, Error, System, Plotting

    GUI Management: Various Navigations, Configurable Data Define

    User Management: Level, Priority, Access Control

    System Parameter: Configuration, Sub-system, etc

    Scheduling System: Flow Engine, Dynamic Scheduling

    Maintenance: Vacuum, Gas Delivery, Transfer, etc (User’s Part)

EasyCluster™

EasyCluster™는 Equipment에서 Module Controller Part 및 Cluster Tool Controller Part의 Control 전용으로 제작된 Software로써 Equipment Control에서 요구되는 다양한 Feature 등을 제공한다. 각 Part에 대한 Open-System Architecture를 지원하고, Soft Real-Time Application을 위해 Windows™(NT™, 2000, XP, 7)상에서 Coding 되어, Equipment 측면에서 보다 안정적인 Operation과 Multi-Traking/Multi-Treading/Multi-Programming 등을 지원 및 적용하여 Equipment에 대한 다양한 Management가 가능하며, 개발 및 적용시간을 단축할 수 있도록 설계되었다.

End User에 의한 IO Define 또는 Application이 쉬우며 Configuration에 의한 Setup으로 추후 비슷한 System의 제작 및 수정에 용이하도록 되어 있으며, Cluster Tool Controller에도 적용 가능토록 설계되어 있다. 또한 Module Controller와 연결 될 수 있는 Cluster Tool Controller 입장에서 Cluster Tool의 역할을 수행할 수 있는 EasyCluster™ Client/Server로써의 Platform을 지원한다.

No Contents(maxiumum Usable Count) Compact Normal Wide Huge Huge2 Huge3
file Execution File Name Cims97_s Cims97 Cims97_2 Cims97_h Cims97_h2 Cims97_h3
1 IO Driver 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 100 500 1000 2500 2500 2500
3 Enumeration Table 500 2500 5000 9999 9999 9999
4 Digital IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
5 Analog IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
6 String IO 250 1500 3000 5000 10000 10000
7 Function Table 250 500 1000 2000 2500 2500
8 Setpoint Interlock for Digital IO 32 64 128 256 256 256
9 Setpoint Interlock for Analog IO 16 32 64 128 128 128
10 Value Interlock 250 500 1000 2000 2000 2000
11 Alarm Object 750 1500 3000 5000 9999 9999
12 Navigation Screen Count 256 1024 2048 2048 4096 4096
13 Navigation History Buffer 64 128 512 1024 2048 2048
14 Argument String Size 128 128 256 256 256 256
15 Parameter String Size 256 256 256 512 512 512
16 Unique Monitor size Per Driver 100 256 300 512 512 512
17 Single Monitor size Per Driver 100 512 600 1024 1024 1024
108 Function 1개의 Monitoring IO 수 2560 5120 20480 20480 20480 20480

[Engine Restriction]

Advantages/Requirement

장점 최소사양
개발이 쉽다 범용적인 H/W와 S/W를 사용하기 때문에 장비에 대한 이해가 높다면 쉽게 구현할 수 있다.
유지보수가 쉽다 시스템의 가동중에 재 기동없이 Application이 가능 합니다.
구성이 쉽다 EasyCluster는 PC기반의 제어 디바이스와 완벽한 호환으로 장비 구성이 용이합니다.
재사용이 쉽다 대부분의 Code를 재사용하므로 1회 개발 완료한 후 다음 Application을 개발시 보다 짧은 시간에 개발이 가능합니다.
운용이 쉽다 GUI와 키보드 시뮬레이션을 사용해 현장 Operate가 용이 합니다.
소유가 쉽다 Control Solution인 EasyCluster는 Turnkey 개발이나 License등 다양한 형태로 제공 됩니다.
보유가 쉽다 Framework인 EasyCluster는 복잡하고 전문화된 훈련없이 간단한 교육을 통해 귀사의 엔지니어가 개발 및 구현이 가능하므로 최단시간에 자체 Software를 소유하는 것이 가능합니다.
분배/결합이 쉽다 Powerful한 IMC기능은 네트워크를 통해 Single application와 Multi application간 쉽게 조합 및 분배가 가능합니다.

요구사항

- Software
운영체제: Windows NT 4.0, Windows 2000, Windows XP, Windows 7 (included 6.0)
지원언어: 한글, 영어, 일어, 중국어…. (운영체제에 따른 기타언어)
개발도구: MS Visual Studio Series(~ 2010)
I/O Module: DeviceNet, Serial, PLC, Direct I/O…..

- Hardware

최소사양 권장사양
CPU 500MHz 이상 1GHz 이상
Memory 64MB 이상 1GB 이상
HDD 1GB 이상 100GB 이상