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MFI

現在の半導体の生産ラインでは、半導体装置の高効率性と多様な機能の提供を要求

POINT
現在の半導体の生産ラインでは、半導体装置の高効率性と多様な機能の提供を要求してます。
半導体装置の生産の業界では、既存のような幾つに固定されたPatternのSchedulingを要求するのではなく、多様なSchedulingの形を要求するようになりました。従って、ユーザがSchedulerを修正して、使用可能のScheduler Macro Function Interface(以下MFI)を開発するようになりました。MFIは、既存のSchedulerで使用されていましたが、装置によってあまり変更する必要のないJob Management, Control Program Interface, FA Interface, Loggingなどの機能はSystem Schedulerで行い、装置によって変更の要素の多いFlow Routineについては、ユーザが直接作成して使用するように設計されました。
Scheduler Folw PartはWindows DLL(Dynamic Link Library)の形で作成するように設計されており、これについての開発道具を提供します。ユーザはFlow Partのみ作成して容易にSchedulerの開発を完了することができます