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MFI

目前的半导体生产线中要求半导体装备支持高效率性和多种功能

POINT
目前的半导体生产线中要求半导体装备支持高效率性和多种功能。半导体生产企业要求的不是原来的几个固定Pattern的Scheduling,而是要求多种Scheduling形态。为此,开发了用户修改Scheduler来使用Scheduler Macro Function Interface(以下MFI)。
MFI虽然使用在了原来的Scheduler中,但是不需要根据装备大幅更改的Job Management、Control Program Interface、FA Interface、Logging 等功能是在System Scheduler中进行,根据装备需要更改很多内容的Flow Routine需要由User亲自编写使用。

Scheduler Flow Part设计为可以以Windows DLL(Dynamic Link Library)形态编写,支持与此相关的工具。用于只编写Flow Part就可以完成Scheduler的开发。