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EasyCluster

由EasyRCS、EasyGEM、EasyCTC、EasyTMC、EasyPMC构成控制Process装置,提供Control Solution

POINT
EasyGEM和EasyEES负责Fab.自动化,提供遵照了自动化的标准- SECS-Ⅱ和
HSMS的Solution。
负责装备运营的EasyCTC综合控制所有装备,
EasyTMC控制Transfer Module,EasyPMC控制Process Module。

What is the EasyCluster™?

适用领域

半导体/FPD(LCD, OLED….)/LED/Solar/电气电子(PCB, MLCC…)/Inspection/Stand-Alone/Etc…

过程

CVD, PVD, Etcher, Asher, RTP, Laser, Track, AOI…

传送装置(Cluster/Inline/Stand-Alone/Multi-Cluster...)

  • 可扩张4 Carrier Module-到12Module
  • Single/Dual Aligner
  • Multi Slot Cooler 支援
  • 可选择性更改装备的Layout
  • 多种控制方式
  • 最佳的机器人传送处理
  • 支持串联及并联Chamber处理
  • 支持能动及手动机器人传送方案

特征

  • CTC、TMC、PMC的控制器通过以太网通信连接。
  • 可使用支持NT(2000, XP)运行体系的I/O模块。
  • Analog I/O、Digital I/O、Serial I/O、DeviceNet、VME、PLC、etc
  • 需要NT(2000, XP)运行体系和Visual C/C++ 6,0版本。
  • Server/Client关系是用TCP/IP连接或是内部连接。
  • 根据装备的复杂度灵活构成Software/Hardware。
  • GUI(Graphic User Interface)遵照SEMATECH规定。
  • SECS-Ⅱ/GEM通信相关:支持HSMS,完美支持300mm Spec
  • 有如下几种装备管理方法。

    I/O Management: Remote & Direct I/O control, Interlock service

    Alarm Management: Alarm recovery, Alarm history

    Function Management: Control Equipment, User’s written code, etc

    Recipe Management: Lot, Cluster, Process recipe

    Data logging system: Lot, History, Operate, Online, Error, System, Plotting

    GUI Management: Various Navigations, Configurable Data Define

    User Management: Level, Priority, Access Control

    System Parameter: Configuration, Sub-system, etc

    Scheduling System: Flow Engine, Dynamic Scheduling

    Maintenance: Vacuum, Gas Delivery, Transfer, etc (User’s Part)

EasyCluster™

EasyCluster™是专为控制Equipment中的Module Controller Part及Cluster Tool Controller Part(控制专用)而制作的Software,提供Equipment Control 所需的多种Feature。 对各Part支持Open-System Architecture,为了Soft Real-Time Application而在Windows™(NT™, 2000, XP, 7)中进行Coding ,在Equipment 层面上支持更加稳定的Operation和Multi-Traking /Multi-Treading/Multi-Programming,可对Equipment进行多种管理,进而可以缩短开发及应用时间。

End User方便进行IO Define或是Application,由于通过Configuration进行Setup,日后方便制作并修改相似的系统,还可以应用到Cluster Tool Controller中。在可以与Module Controller连接的Cluster Tool Controller层面上,支持可以起到Cluster Tool作用的EasyCluster™ Client/Server的Platform。

No Contents(maxiumum Usable Count) Compact Normal Wide Huge Huge2 Huge3
file Execution File Name Cims97_s Cims97 Cims97_2 Cims97_h Cims97_h2 Cims97_h3
1 IO Driver 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 50 100 200 500 1000 900
2 Lookup Table 100 500 1000 2500 2500 2500
3 Enumeration Table 500 2500 5000 9999 9999 9999
4 Digital IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
5 Analog IO 500 2500 5000 9999 20000 40000
6 String IO 250 1500 3000 5000 10000 10000
7 Function Table 250 500 1000 2000 2500 2500
8 Setpoint Interlock for Digital IO 32 64 128 256 256 256
9 Setpoint Interlock for Analog IO 16 32 64 128 128 128
10 Value Interlock 250 500 1000 2000 2000 2000
11 Alarm Object 750 1500 3000 5000 9999 9999
12 Navigation Screen Count 256 1024 2048 2048 4096 4096
13 Navigation History Buffer 64 128 512 1024 2048 2048
14 Argument String Size 128 128 256 256 256 256
15 Parameter String Size 256 256 256 512 512 512
16 Unique Monitor size Per Driver 100 256 300 512 512 512
17 Single Monitor size Per Driver 100 512 600 1024 1024 1024
108 Number of Monitoring IO for one Function 2560 5120 20480 20480 20480 20480

[Engine Restriction]

Advantages/Requirement

优点 최소사양
开发方便 由于使用通用的H/W和S/W,只要很好的了解装备就可以简单实现。
维护管理方便 系统运行中不用重新启动就可以进行Application。
构成方便 EasyCluster与基于PC的控制装置完美兼容,便于设备配置。
重复使用方便 由于重复使用Code,开发1次之后开发下一个Application时可缩短开发时间。
运行方便 使用GUI和模拟键盘,现场操作方便。
取得方便 Control Solution-EasyCluster是以Turnkey开发或是License等多种形态提供。
拥有方便 Framework-EasyCluster不需要复杂专业的训练,可通过简单的培训来由贵公司的工程师进行开发及实现,可在最短时间内取得的自己的Software。
分配/结合方便 强大的IMC功能可通过网络实现Single application和Multi application之间的简单组合及分配。

要求事项

- Software
运行体系: Windows NT 4.0, Windows 2000, Windows XP, Windows 7 (included 6.0)
支持语言:韩语、英语、日语、中文····(运行体系提供的其他语言)
开发工具:MS Visual Studio Series(~ 2010)
I/O Module: DeviceNet, Serial, PLC, Direct I/O…..

- Hardware

最低配置 推荐配置
CPU 500MHz以上 1GHz以上
Memory 64MB以上 1GB以上
HDD 1GB以上 100GB以上